Halfgeleier gasfilters:
Verseker onberispelike gassuiwerheid in skyfievervaardiging
In die ingewikkelde wêreld van halfgeleiervervaardiging, waar akkuraatheid en suiwerheid voorop staan, is die kwaliteit van
gasse wat gebruik word, speel 'n kritieke rol in die bepaling van die sukses van die proses. Onsuiwerhede, selfs op infinitesimale vlakke,
kan verwoesting saai op die delikate stroombane van mikroskyfies, wat hulle defektief en onbruikbaar maak. Om te beskerm
hierdie kritieke proses, halfgeleiergasfilters staan as onwrikbare voogde, wat kontaminante noukeurig verwyder
en die versekering van die ongerepte kwaliteit van gasse wat deur die vervaardigingslyne vloei.
Daar is baie uitstekende kenmerke en voordele van gesinterde metaalfilters
1. Gemaak in 'n moderne skoonkamer-omgewing
Hierdie filters word gebore in 'n moderne skoonkamer, 'n omgewing waar onberispelike toestande noukeurig gehandhaaf word om enige potensiële besoedeling tot die minimum te beperk. Hulle ondergaan 'n streng vervaardigingsproses, wat begin met presisiesweiswerk onder 'n atmosfeer van gesuiwerde lug. 'n Daaropvolgende gedeïoniseerde waterspoeling, gevolg deur 'n hoëdruk, gefiltreerde stikstofspoeling, skakel enige talmende deeltjies uit en verminder die risiko van deeltjiestorting.
2. Uitsonderlike partikelverwyderingsdoeltreffendheid
Met 'n merkwaardige filtrasiedoeltreffendheid van 9 LRV vir 0.003μm-deeltjies, wat voldoen aan die streng standaarde wat deur SEMI F38 en ISO 12500-toetsmetodes gestel word, verwyder hierdie filters effektief enige korrosie-gegenereerde deeltjies en deeltjies wat uit bewegende dele gegenereer word, wat die ongerepte suiwerheid van die gasse.
3. Uitstekende meganiese sterkte
Hierdie filters is streng getoets om buitengewone veerkragtigheid te waarborg in veeleisende vervaardigingsprosesse en omgewings wat dikwels hoë gasdruk gebruik, en bied onwrikbare werkverrigting deur hul leeftyd.
4. Oorskry die hoogste industriestandaarde
Deur die streng gashanteringsfiltrasievereistes vir halfgeleierverwerking te oortref, ondergaan hierdie filters streng toetsing om te verseker dat hulle voldoen aan die kritieke filtrasiedoeltreffendheid, presiese vloeibeheer en veiligheidstandaarde wat deur gasleweringstelsels in halfgeleiervervaardiging vereis word.
5. Onwrikbare verbintenis tot veiligheid
Om te beskerm teen blootstelling aan vlambare, korrosiewe, giftige en pirofore prosesgasse, ondergaan die filterbehuizings noukeurige lektoetse, om te verseker dat hulle 'n merkwaardige lekkoers van minder as 1x10-9 atm scc/sekonde behaal. Hierdie onwrikbare verbintenis tot veiligheid verseker dat gevaarlike gasse ingesluit word en verhoed word om skade te veroorsaak.
6. Kompromislose suiwerheid vir uitnemende skyfievervaardiging
Deur hul uitsonderlike filtreervermoëns, onwrikbare toewyding aan veiligheid en voldoening aan die hoogste industriestandaarde, speel hierdie gasfilters 'n deurslaggewende rol in die beveiliging van die ingewikkelde proses van halfgeleiervervaardiging. Hulle staan as bewakers van reinheid, en verseker dat slegs die skoonste gasse deur die vervaardigingslyne vloei, wat die weg baan vir die skepping van hoëprestasie-mikroskyfies wat ons moderne wêreld aandryf.
Tipes halfgeleierfilters
Halfgeleierfilters word in 'n verskeidenheid toepassings gebruik, insluitend:
* Elektroniese vervaardiging:
Halfgeleierfilters word gebruik om deeltjies uit ultrasuiwer water, gasse en chemikalieë wat in die vervaardiging van halfgeleiers gebruik word, te verwyder.
* Chemiese meganiese planarisering (CMP):
Halfgeleierfilters word gebruik om deeltjies uit CMP-flodders te verwyder, wat gebruik word om halfgeleierwafels te poets.
* Biomedies:
Halfgeleierfilters word gebruik om deeltjies te verwyder uit vloeistowwe wat in mediese diagnostiek en behandelings gebruik word.
* Omgewing:
Halfgeleierfilters word gebruik om deeltjies uit lug en water te verwyder.
Daar is vier hooftipes halfgeleierfilters:
1. Membraanfilters:
Membraanfilters is gemaak van 'n dun, poreuse film wat vloeistowwe toelaat om deur te gaan terwyl deeltjies vasgevang word.
2. Diepte filters:
Dieptefilters is gemaak van 'n dik, kronkelende bed materiaal wat deeltjies vasvang terwyl hulle deur die filter vloei.
3. Adsorberende filters:
Adsorberende filters is gemaak van 'n materiaal wat deeltjies aantrek en vashou.
4. Gesinterde metaalfilters
Gesinterde metaalfilters is 'n tipe dieptefilter wat algemeen in halfgeleiervervaardiging gebruik word. Hulle word gemaak deur fyn metaalpoeier in 'n poreuse struktuur te sinter. Gesinterde metaalfilters is bekend vir hul hoë duursaamheid, hoë filtrasiedoeltreffendheid en vermoë om hoë temperature en druk te weerstaan.
Voordele van gesinterde metaalfilters vir halfgeleiervervaardiging:
* Hoë duursaamheid:
* Hoë filtrasie doeltreffendheid:
* Lang lewensduur:
* Chemiese verenigbaarheid:
Toepassings van gesinterde metaalfilters in halfgeleiervervaardiging:
* Gas suiwering:
Gesinterde metaalfilters is 'n noodsaaklike deel van die halfgeleiervervaardigingsproses, wat help om die vervaardiging van hoëgehalte-halfgeleiertoestelle te verseker.
Die tipe halfgeleierfilter wat in 'n spesifieke toepassing gebruik word, hang af van die grootte van die deeltjies wat verwyder word, die tipe vloeistof wat gefiltreer word en die verlangde vlak van filtrasie.
Hier is 'n tabel wat die verskillende tipes halfgeleierfilters opsom:
Tipe filter | Beskrywing | Aansoeke | Beeld |
---|---|---|---|
Membraan filters | Gemaak van 'n dun, poreuse film wat vloeistowwe toelaat om deur te gaan terwyl deeltjies vasgevang word. | Elektroniese vervaardiging, CMP, biomedies, omgewings | |
Diepte filters | Gemaak van 'n dik, kronkelende bed materiaal wat deeltjies vasvang terwyl hulle deur die filter vloei. | CMP, biomedies, omgewings | |
Adsorberende filters | Gemaak van 'n materiaal wat deeltjies aantrek en vashou. | Elektroniese vervaardiging, CMP, biomedies, omgewings | |
Gesinterde metaal filters | Gemaak deur fyn metaalpoeier in 'n poreuse struktuur te sinter. | Gassuiwering, chemiese filtrasie, ultrasuiwer waterfiltrasie, CMP-flotfiltrering | Gesinterde metaalfilters vir halfgeleier |
Toepassing
Gesinterde metaal halfgeleiergasfilters word wyd gebruik in 'n verskeidenheid toepassings in die halfgeleierbedryf. Hul unieke eienskappe, soos hoë filtrasiedoeltreffendheid, duursaamheid en vermoë om hoë temperature en druk te weerstaan, maak hulle 'n noodsaaklike komponent van gasleweringstelsels in halfgeleiervervaardiging.
Hier is 'n paar van die spesifieke toepassings van gesinterde metaal halfgeleiergasfilters:
1. Waferproduksie:
Gesinterde metaalfilters word gebruik om gasse wat in wafelproduksie gebruik word, soos stikstof, waterstof en suurstof, te suiwer. Hierdie gasse is noodsaaklik vir prosesse soos epitaksiale groei, ets en doping.
2. Chemiese filtrasie:
Gesinterde metaalfilters word gebruik om chemikalieë wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word, te filtreer, soos sure, basisse en oplosmiddels. Hierdie chemikalieë word vir 'n verskeidenheid doeleindes gebruik, insluitend skoonmaak, ets en poleer.
3. Ultrasuiwer waterfiltrasie:
Gesinterde metaalfilters word gebruik om ultrasuiwer water (UPW) wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word, te filtreer. UPW is noodsaaklik vir die skoonmaak en spoel van wafers, asook vir die voorbereiding van chemikalieë.
4. CMP-slibfiltrering:
Gesinterde metaalfilters word gebruik om CMP-flodders te filtreer, wat gebruik word om halfgeleierwafels te poets. CMP is 'n kritieke proses in die vervaardiging van mikroskyfies.
5. Punt-van-gebruik (POU) filtrasie:
Gesinterde metaalfilters word dikwels as POU-filters gebruik, wat direk by die gebruikspunt geïnstalleer word om die hoogste vlak van filtrasie te verskaf. POU-filters is veral belangrik vir toepassings waar die suiwerheid van die gas krities is, soos in die vervaardiging van mikroverwerkers en ander hoëprestasie-toestelle.
6. Hoësuiwer gashantering:
Gesinterde metaalfilters word in hoë-suiwer gashanteringstelsels gebruik om kontaminante te verwyder uit gasse wat in halfgeleiervervaardiging gebruik word. Hierdie kontaminante kan deeltjies, vog en organiese verbindings insluit.
7. Mikro-elektroniese vervaardiging:
Gesinterde metaalfilters word gebruik in die vervaardiging van mikro-elektronika, soos rekenaars, tablette, selfone, IoT-sensors en beheertoestelle.
8. Mikro-elektromeganiese stelsels (MEMS) filtrasie:
Gesinterde metaalfilters word gebruik in MEMS-filtrasie, wat die proses is om kontaminante uit mikro-elektromeganiese stelsels te verwyder. MEMS word in 'n verskeidenheid toepassings gebruik, insluitend sensors, aktueerders en omskakelaars.
9. Filtrering van databergingstoestelle:
Gesinterde metaalfilters word gebruik in die filtrasie van databergingstoestelle, wat die proses is om kontaminante van databergingstoestelle, soos hardeskywe en vastestaat-aandrywers, te verwyder.
Benewens hierdie spesifieke toepassings, word gesinterde metaal halfgeleiergasfilters ook in 'n verskeidenheid ander toepassings in die halfgeleierbedryf gebruik. Hul veelsydigheid en betroubaarheid maak dit 'n noodsaaklike hulpmiddel vir halfgeleiervervaardigers.
Op soek na topgehalte gesinterde metaal halfgeleier gas filters?
HENGKO is jou beste vennoot vir OEM-oplossings in halfgeleiervervaardigingstelsels.
Ons presisie-gemanipuleerde filters verseker betroubaarheid en doeltreffendheid in jou prosesse, en bied jou die voorsprong in 'n mededingende mark.
Waarom HENGKO se filters kies?
* Uitstekende gehalte en duursaamheid
* Pasgemaakte oplossings om by jou spesifieke behoeftes te pas
* Verbeterde werkverrigting vir halfgeleiervervaardiging
Moenie toelaat dat filtrasie-uitdagings jou produksie terughou nie.
Reik vandag na ons om te verken hoe ons gesinterde metaalfilters jou vervaardigingstelsel kan revolusioneer.
Kontak ons byka@hengko.com
Vennoot met HENGKO en neem 'n stap na uitnemendheid in halfgeleiervervaardiging!