Temperatuur- en humiditeitsensor vir halfgeleier skoon kamer temperatuur humiditeit beheer skema
Produkskou
Die temperatuurenhumiditeit van skoon spasie word hoofsaaklik bepaal volgens die prosesvereistes, maar onder die voorwaarde om aan die prosesvereistes te voldoen, moet die gevoel van gemak in ag geneem word.Met die verbetering van lugskoonheidsvereistes was daar 'n neiging van al hoe strenger vereistes vir temperatuur en humiditeit.
Aangesien die verwerkingsakkuraatheid meer en meer fyn is, is die temperatuurskommelingsreeks al hoe minder.Byvoorbeeld, in die litografiese blootstellingsproses van grootskaalse geïntegreerde stroombaanproduksie, moet die verskil van termiese uitsettingskoëffisiënt tussen glas en silikonwafel as maskermateriaal kleiner en kleiner wees.Deursnee 100 um silikonwafel, temperatuurstyging 1 graad, sal 0.24um lineêre uitbreiding veroorsaak, dus moet daar 'n temperatuur van ±0.1 graad wees, terselfdertyd is die humiditeitswaarde oor die algemeen laag, want mense sweet, die produk sal besoedeling hê, veral bang vir natrium halfgeleier werkswinkel, moet hierdie werkswinkel nie oorskry 25 grade.
Hoë humiditeit veroorsaak meer probleme.Wanneer relatiewe humiditeit 55% oorskry, sal dou op die wand van koelwaterpyp vorm, wat verskeie ongelukke sal veroorsaak as dit in presisietoestelle of stroombane gebeur.Wanneer die relatiewe humiditeit 50% is, is dit maklik om te roes.Daarbenewens, wanneer die humiditeit te hoog is, sal die stof wat aan die oppervlak van die silikonskyfie vassit, chemies op die oppervlak geadsorbeer word om verwydering te weerstaan.Hoe hoër die relatiewe humiditeit is, die adhesie is moeilik om te verwyder, maar wanneer die relatiewe humiditeit laer as 30% is, is die deeltjies maklik om op die oppervlak te adsorbeer as gevolg van die werking van elektrostatiese krag, en 'n groot aantal halfgeleier toestelle is geneig tot ineenstorting.Die optimum temperatuurreeks vir waferproduksie is 35-45%.
Daarom is die beheer van temperatuur en humiditeit besonder belangrik, HENGKO kan u voorsien van 'n reeks vantemperatuur- en humiditeitsender pasgemaakte verwerkingsoplossings!
Temperatuur- en humiditeitsensor vir halfgeleier skoon kamer temperatuur humiditeit beheer skema
Kan u nie 'n produk vind wat aan u behoeftes voldoen nie?Kontak ons verkoopspersoneel virOEM/ODM-aanpassingsdienste! 
