Gevorderde IGS-oppervlakgemonteerde C-seëlfilters vir ultra-suiwer halfgeleiergasstelsels
Beskrywing
HENGKO Oppervlakmonteringsfilters is ontwerp om te voldoen aan die veeleisende vereistes van geïntegreerde gasstelsels wat in halfgeleier-OEM-gereedskap gebruik word. Hierdie filters bied toonaangewende filtrasie teen 0.003 µm en verseker uitsonderlike werkverrigting en betroubaarheid met 'n deeltjie-onderskeppingsdoeltreffendheid van ≥99.9999999% (9-LRV) teen 120 slpm.
Hierdie filters, wat vervaardig is uit robuuste 316L vlekvrye staalpoeier wat gesinter is vir die filterelement en behuising, voldoen aan SEMI F86-0304-spesifikasies, met tweepoortkomponente wat aangepas is vir 1.125" gasverspreidingstelsels met 'n C-seëlkonfigurasie. Hulle ondersteun 'n maksimum inlaatdruk van 3.4 MPa teen 100°C en 'n maksimum bedryfsdrukverskil van 0.69 MPa teen 100°C.
Hierdie gespesialiseerde filters, versoenbaar met beide C-tipe en W-tipe seëlspesifikasies, bereik stroomaf skoonheid met deeltjievrystelling van
Met 'n oppervlakafwerking van Ra< 1.6 µm aan die buitekant en RaMet 'n dikte van < 0.13 µm aan die binnekant is hulle ontwerp om hoë temperature tot 460°C te weerstaan. Hierdie filters is ontwerp vir maklike integrasie en modulêre ontwerpopgraderings, en vereenvoudig installasie en onderhoud, wat help om stelselprestasie in halfgeleiergaslewering en -beheertoepassings te optimaliseer.
Produkkenmerk
▶ Algehele 316L vlekvrye staal konstruksie
▶ Geminiaturiseerde ontwerp, kompakte struktuur, ruimtebesparend
▶ Uitstekende gasvervangings- en desorpsie-eienskappe
▶ Hoë temperatuur, hoë druk en korrosiebestand
▶ Elektro-gepoleerde 316L vlekvrye staalbehuising
▶ Maklike en doeltreffende installasie en onderhoud
▶ Meganiese verseëling, struktureel nie-gesweis aan die medium
Datablad
| Tegniese Parameters | Waardes |
|---|---|
| Filterelementmateriaal | 316L vlekvrye staal gesinterde poeier |
| Behuisingsmateriaal | 316L vlekvrye staal |
| Maksimum inlaatdruk | 3.4 MPa @ 100°C |
| Maksimum Bedryfsdifferensiaal | 0.69 MPa @ 100°C |
| Helium Verifikasie Lekspoed | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Helium Toets Lek Tempo | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Oppervlakbehandeling | Buitenste Oppervlak Ra< 1.6 μm |
| Binneste Oppervlak Ra< 0.13 μm | |
| Maksimum bedryfstemperatuur | 460°C |
| Doeltreffendheid van deeltjie-onderskepping | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (Verwysings-MPPS, alle deeltjies) |
| Stroomafwaartse Netheid | Deeltjievrystelling:< 0.03 deeltjies/liter (< 1 deeltjie/vt³) |
| Vlugtige stowwe:< 10 dpb vog | |
| Grootte van deeltjie-onderskepping | ≥0.003 μm |
| Vloeibereik | 0 ~ 120 slpm |
Grootte
Hier is die onderdeelnommer wat jy kan bestel en grootte besonderhede:
| Produkmodel | Vloeitempo | Hoogte H (mm) | Filtrasie Presisie | Skoonmaakvlak |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167.9 | 0.003 μm | C |
Tipiese toepassings
Vir gebruik met W-seël en C-seël, 1.125” en 1.5” oppervlakgemonteerde modulêre gasleweringstelsels.
Stuur jou boodskap aan ons:
