halfgeleier gas filters

Hoekom moet gasfilters gebruik word in die halfgeleiervervaardigingsproses? 

Gasfilters is om verskeie kritieke redes noodsaaklik in die halfgeleiervervaardigingsproses:

1. Verwydering van kontaminante

Halfgeleiervervaardiging behels talle sensitiewe prosesse waar selfs die kleinste kontaminante,

soos stofdeeltjies, vog of chemiese oorblyfsels, kan nadelige gevolge hê. Gasfilters verwyder

deeltjies, onsuiwerhede en luggedraagde kontaminante van prosesgasse, wat 'n skoon omgewing verseker

en die handhawing van die integriteit van die halfgeleierwafers.

2. Handhawing van Ultra-suiwerheidstandaarde

Die halfgeleierbedryf vereis uiters hoë vlakke van suiwerheid in die gasse wat gebruik word, soos onsuiwerhede kan

lei tot defekte in halfgeleiertoestelle. Gasfilters help om ultra-suiwer gasgehalte te bereik, wat voorkom

kontaminasie en die konsekwentheid en betroubaarheid van die produkte te verseker.

3. Beskermingstoerusting

Kontaminante in gasse kan nie net die halfgeleierwafels beskadig nie, maar ook die sensitiewe

toerusting wat in die vervaardigingsproses gebruik word, soos chemiese dampneerslag (CVD) reaktore en

ets stelsels. Gasfilters beskerm hierdie duur masjiene teen skade, wat die risiko van

stilstand en duur herstelwerk.

4. Voorkoming van opbrengsverlies

Opbrengs is deurslaggewend in halfgeleiervervaardiging, waar defekte aansienlike verlies in produksie kan veroorsaak.

Selfs 'n enkele deeltjie of chemiese onsuiwerheid kan opbrengsverlies tot gevolg hê, wat produktiwiteit en winsgewendheid beïnvloed.

Gasfilters verseker dat die prosesgasse suiwer is, wat kontaminasie tot die minimum beperk en opbrengsverlies verminder.

5. Verseker produkkwaliteit

Konsekwentheid en kwaliteit is uiters belangrik in halfgeleiervervaardiging. Besoedelde gasse kan skep

inkonsekwenthede, wat lei tot onbetroubare halfgeleiertoestelle. Deur gasfilters te gebruik, kan vervaardigers

waarborg dat elke bondel voldoen aan die streng gehaltestandaarde wat vereis word, wat lei tot hoër toestel

prestasie en lang lewe.

6. Verminder stilstand

Kontaminante in prosesgasse kan toerustingonderbrekings veroorsaak, wat instandhouding of vervanging noodsaak.

Deur gasfilters te gebruik, kan vervaardigers onverwagte stilstandtyd verminder, operasionele doeltreffendheid handhaaf, en

verleng die lewensduur van kritieke toerusting.

7. Chemiese verenigbaarheid

Baie van die gasse wat in halfgeleierprosesse gebruik word, is hoogs reaktief of korrosief. Gasfilters is

ontwerp om hierdie harde chemiese omgewings te weerstaan, terwyl onsuiwerhede effektief gefiltreer word, om te verseker

veilige en effektiewe verwerking.

In die algemeen is gasfilters noodsaaklik vir die handhawing van die suiwerheid, betroubaarheid en veiligheid van die halfgeleier

vervaardigingsproses, wat help om hoë kwaliteit, defekvrye halfgeleierprodukte te bereik terwyl

beskerm ook waardevolle toerusting.

Tipes gasfilters in die halfgeleiervervaardigingsproses

In die halfgeleiervervaardigingsproses word verskillende tipes gasfilters gebruik om verskeie aan te spreek

stadiums en uitdagings wat verband hou met gassuiwerheid en toerustingbeskerming.

Die tipes gasfilters wat algemeen gebruik word, sluit in:

1. Deeltjies filters

*Doel: Om deeltjies, stof en ander vaste kontaminante uit prosesgasse te verwyder.

*Gebruik: Dikwels op verskeie stadiums geïnstalleer om wafers, proseskamers en toerusting teen deeltjiebesoedeling te beskerm.

*Materiaal: Tipies gemaak van gesinterde vlekvrye staal, PTFE of ander materiale wat duursaamheid en chemiese verenigbaarheid verseker.

2. Molekulêre of Chemiese Filters (Getter Filters)

*Doel: Om spesifieke molekulêre kontaminante, soos vog, suurstof of organiese verbindings, wat in prosesgasse teenwoordig kan wees, te verwyder.

*Gebruik: Word gebruik wanneer hoësuiwer gas benodig word, soos tydens afsetting of etsprosesse.

*Materiaal: Dikwels gebou met geaktiveerde houtskool, zeoliet of ander adsorberende materiale wat spesifiek ontwerp is om molekulêre onsuiwerhede vas te vang.

3. Gasfilters met hoë suiwerheid

*Doel: Om ultrahoë suiwerheid (UHP) gasstandaarde te bereik, wat krities is vir halfgeleierprosesse waar die geringste onsuiwerheid die produkkwaliteit kan beïnvloed.

*Gebruik: Hierdie filters word gebruik in prosesse soos Chemical Vapor Deposition (CVD) en Plasma Etching, waar onsuiwerhede ernstige defekte kan veroorsaak.

*Materiaal: Gemaak van vlekvrye staal met gespesialiseerde membrane om integriteit onder hoë druk en uiterste toestande te handhaaf.

4. Grootmaat gasfilters

*Doel: Om gasse te suiwer by die punt van toegang of voor verspreiding na die vervaardigingslyne.

*Gebruik: Stroomop in die gasleweringstelsel geposisioneer om gasse in grootmaat te filtreer voordat dit aan individuele gereedskap of reaktore verskaf word.

*Materiaal: Hierdie filters het dikwels 'n hoë kapasiteit om groot volumes gasse te hanteer.

5. Punt-van-gebruik (POU) Gasfilters

*Doel: Om te verseker dat die gasse wat aan elke spesifieke verwerkingsinstrument gelewer word, vry is van enige kontaminante.

*Gebruik: Geïnstalleer net voordat die gasse by die prosestoerusting ingebring word, soos ets- of afsettingskamers.

*Materiaal: Gemaak van materiale wat versoenbaar is met die reaktiewe gasse wat in halfgeleierprosesse gebruik word, soos gesinterde metaal of PTFE.

6. Inlyn gasfilters

*Doel: Om inlynfiltrasie te verskaf vir gasse wat deur die verspreidingstelsel beweeg.

*Gebruik: Geïnstalleer binne gaslyne by sleutelpunte, wat deurlopende filtrasie regdeur die stelsel bied.

*Materiaal: Gesinterde vlekvrye staal of nikkel om chemiese verenigbaarheid met die gasse te verseker.

7. Gasfilters op die oppervlak

*Doel: Om direk op gaspaneelkomponente gemonteer te word om deeltjies en molekulêre kontaminante te verwyder.

*Gebruik: Hierdie filters is algemeen in stywe ruimtes en bied doeltreffende punt-van-gebruik filtrasie in kritieke toepassings.

*Materiaal: Hoësuiwer vlekvrye staal vir duursaamheid en verenigbaarheid met halfgeleiervervaardigingsgasse.

8. Sub-mikron filters

*Doel: Om uiters klein deeltjies uit te filtreer, dikwels so klein soos sub-mikron groottes, wat steeds aansienlike defekte in halfgeleierprosesse kan veroorsaak.

*Gebruik: Word gebruik in prosesse wat die hoogste vlak van filtrasie vereis om ultra-suiwer gastoevoer te handhaaf, soos fotolitografie.

*Materiaal: Hoëdigtheid gesinterde metaal of keramiek materiaal wat selfs die kleinste deeltjies effektief kan vasvang.

9. Geaktiveerde koolstoffilters

*Doel: Om organiese kontaminante en vlugtige gasse te verwyder.

*Gebruik: Word gebruik in toepassings waar gasvormige onsuiwerhede verwyder moet word om wafelkontaminasie of reaksieversteurings te voorkom.

*Materiaal: Geaktiveerde koolstofmateriale wat ontwerp is om organiese molekules te adsorbeer.

10.Gesinterde metaalgasfilters

*Doel: Om deeltjies en onsuiwerhede effektief te verwyder terwyl dit strukturele sterkte en weerstand teen hoë druk bied.

*Gebruik: Word wyd gebruik oor verskeie stadiums van die halfgeleierproses waar robuuste filtering nodig is.

*Materiaal: Tipies gemaak van gesinterde vlekvrye staal of ander metaallegerings om strawwe omgewings en chemikalieë te weerstaan.

11.Hidrofobiese gasfilters

*Doel: Om te verhoed dat vog of waterdamp die gasstroom binnedring, wat krities is in sekere prosesse wat sensitief is vir selfs spoorhoeveelhede vog.

*Gebruik: Word dikwels gebruik in prosesse soos wafeldroog of plasma-ets.

*Materiaal: Hidrofobiese membrane, soos PTFE, om te verseker dat gasse vry bly van vogbesoedeling.

Hierdie verskillende tipes gasfilters word noukeurig gekies op grond van hul spesifieke eienskappe, materiaalversoenbaarheid en geskiktheid vir die unieke toestande van halfgeleiervervaardigingsprosesse. Die regte kombinasie van filters is noodsaaklik om die hoogste vlak van gassuiwerheid te handhaaf, prosesstabiliteit te verseker en defekte in halfgeleiertoestelle te voorkom.

Sommige algemene vrae oor halfgeleiergasfilters

Gereelde vrae 1:

Wat is halfgeleiergasfilters en hoekom is dit belangrik?

Halfgeleiergasfilters is kritieke komponente in die halfgeleiervervaardigingsproses.

Hulle is ontwerp om onsuiwerhede en kontaminante uit prosesgasse te verwyder, soossuurstof,

stikstof, waterstof en verskeie chemiese gasse.

Hierdie onsuiwerhede kan die kwaliteit, opbrengs en betroubaarheid van halfgeleiertoestelle aansienlik beïnvloed.

Deur gasstrome effektief te filter, help halfgeleiergasfilters om:

1. Handhaaf hoë suiwerheid:

Maak seker dat die gasse wat in die vervaardigingsproses gebruik word vry is van kontaminante wat toestel se werkverrigting kan verswak.

2. Voorkom skade aan toerusting:

Beskerm sensitiewe halfgeleiertoerusting teen deeltjie- en chemiese kontaminasie, wat kan lei tot duur stilstand en herstelwerk.

3. Verbeter produkopbrengs:

Verminder defekte en mislukkings wat veroorsaak word deur gasgedraagde onsuiwerhede, wat lei tot hoër produksie-opbrengste.

4. Verbeter toestelbetroubaarheid:

Minimaliseer die langtermyn-agteruitgang van halfgeleiertoestelle as gevolg van kontaminasieverwante kwessies.

Gereelde vrae 2:

Wat is die algemene tipes halfgeleiergasfilters?

Verskeie tipes gasfilters word in halfgeleiervervaardiging gebruik, elk ontwerp om te verwyder

spesifieke tipes kontaminante.

Die mees algemene tipes sluit in:

1.Partikelfilters:

Hierdie filters verwyder vaste deeltjies, soos stof, vesels en metaaldeeltjies, uit gasstrome.

Hulle word tipies gemaak van materiale soos gesinterde metaal-, keramiek- of membraanfilters.

2. Chemiese filters:

Hierdie filters verwyder chemiese onsuiwerhede, soos waterdamp, koolwaterstowwe en korrosiewe gasse.

Hulle is dikwels gebaseer op adsorpsie- of absorpsiebeginsels, met behulp van materiale soos geaktiveerde koolstof,

molekulêre siwwe, of chemiese absorpsiemiddels.

3. Kombinasie filters:

Hierdie filters kombineer die vermoëns van partikel- en chemiese filters om beide tipes te verwyder

kontaminante. Hulle word dikwels gebruik in kritieke toepassings waar hoë suiwerheid noodsaaklik is.

Gereelde vrae 3:

Hoe word halfgeleiergasfilters gekies en ontwerp?

Die keuse en ontwerp van halfgeleiergasfilters behels verskeie faktore, insluitend:

* Gassuiwerheidsvereistes:

Die verlangde vlak van suiwerheid vir die spesifieke gasstroom bepaal die filter se filtrasiedoeltreffendheid en kapasiteit.

* Vloeitempo en druk:

Die volume gas wat gefiltreer moet word en die werksdruk beïnvloed die filter se grootte, materiaal en konfigurasie.

* Soort en konsentrasie van kontaminant:

Die spesifieke tipes kontaminante wat in die gasstroom voorkom, bepaal die keuse van filtermedia en die poriegrootte daarvan.

* Temperatuur en humiditeit:

Die bedryfstoestande kan die filter se werkverrigting en lewensduur beïnvloed.

*Koste en onderhoud:

Die aanvanklike koste van die filter en sy deurlopende onderhoudsvereistes moet in ag geneem word.

Deur hierdie faktore noukeurig te oorweeg, kan ingenieurs gasfilters kies en ontwerp wat aan die spesifieke voldoen

behoeftes van 'n halfgeleiervervaardigingsproses.

Hoe gereeld moet gasfilters in halfgeleiervervaardiging vervang word?

Die vervangingsfrekwensie van gasfilters in halfgeleiervervaardiging hang af van verskeie faktore, insluitend die tipe

proses, die vlak van kontaminante en die spesifieke tipe filter wat gebruik word. Tipies word gasfilters gereeld vervang

onderhoudskedule om enige risiko van kontaminasie te voorkom,dikwels elke 6 tot 12 maande, afhangende van gebruikstoestande

en die aanbevelings van die filtervervaardiger.

Vervangingskedules kan egter baie verskil op grond van die bedryfsomgewing. Byvoorbeeld:

* Hoë-kontaminant prosesse:

Filters moet dalk meer gereeld vervang word as hulle aan hoë vlakke van

deeltjies of molekulêre kontaminasie.

* Kritiese toepassings:

In prosesse wat uiters hoë suiwerheid vereis (bv. fotolitografie), word filters dikwels vervang

voorkomend om te verseker dat gasgehalte nie benadeel word nie.

Monitering van differensiële druk oor die filter is 'n algemene metode om te bepaal wanneer 'n filter vervang moet word.

Soos kontaminante ophoop, neem die drukval oor die filter toe, wat 'n vermindering in doeltreffendheid aandui.

Dit is noodsaaklik om filters te vervang voordat hul doeltreffendheid afneem, aangesien enige skending in gassuiwerheid aansienlike defekte kan veroorsaak,

opbrengs verminder, en selfs lei tot skade aan toerusting.

Van watter materiale word gasfilters gemaak vir halfgeleiertoepassings?

Gasfilters wat in halfgeleiertoepassings gebruik word, word gemaak van materiale wat die hoogste suiwerheidstandaarde kan handhaaf

en weerstaan ​​die strawwe omgewings wat in vervaardiging voorkom. Algemene materiale sluit in:

*Vlekvrye staal (316L): Die materiaal wat die meeste gebruik word as gevolg van sy chemiese weerstand, meganiese sterkte, en

vermoë om met presiese poriegroottes vervaardig te word deur sintertegnologie te gebruik. Dit is geskik vir die filter van beide reaktiewe

en inerte gasse.

*PTFE (Polytetrafluoroethylene): PTFE is 'n chemies inerte materiaal wat gebruik word om hoogs reaktief of korrosief te filtreer

gasse. Dit het uitstekende chemiese verenigbaarheid en hidrofobiese eienskappe, wat dit ideaal maak vir vogsensitief

prosesse.

*Nikkel en Hastelloy:

Hierdie materiale word gebruik vir hoëtemperatuurtoepassings of vir prosesse wat aggressiewe chemikalieë insluit

waar vlekvrye staal kan afbreek.

*Keramiek:

Keramiekfilters word gebruik vir toepassings waar uiterste temperatuurweerstand vereis word, of vir sub-mikron

filtrasie van deeltjies.

Die keuse van materiaal hang af van die tipe gas, die teenwoordigheid van reaktiewe spesies, die temperatuur, en

ander proses parameters. Die materiale moet nie-reaktief wees om te verseker dat hulle geen onsuiwerhede inbring nie

of deeltjies in die proses in, waardeur die gassuiwerheidsvlakke wat vir halfgeleiervervaardiging vereis word, gehandhaaf word.

Wat is die rol van punt-van-gebruik (POU) filters in halfgeleiervervaardiging?

Point-of-Use (POU) filters is noodsaaklik in halfgeleiervervaardiging, aangesien dit verseker dat gasse onmiddellik voor

die proses gereedskap betree. Hierdie filters bied 'n finale beskerming teen kontaminante wat moontlik die gasstroom binnegedring het

tydens berging, vervoer of verspreiding, waardeur prosesstabiliteit en produkkwaliteit verbeter word.

Sleutelvoordele van POU-filters:

*Geplaas naby kritieke toerusting (bv. ets- of afsettingskamers) om te verhoed dat kontaminasie die wafer bereik.

*Verwyder beide deeltjies en molekulêre onsuiwerhede wat deur die gashanteringstelsel of omgewingsblootstelling ingebring kan word.

*Verseker dat die hoogste moontlike gasgehalte aan die prosesgereedskap gelewer word, wat toerusting beskerm en die kwaliteit van vervaardigde toestelle verbeter.

*Verminder prosesveranderlikheid, verhoog opbrengs en verlaag defekvlakke.

*Onontbeerlik in gevorderde halfgeleieromgewings waar selfs geringe onsuiwerhede produktiwiteit en produkbetroubaarheid aansienlik kan beïnvloed.

Hoe voorkom gasfilters stilstand van toerusting in halfgeleierprosesse?

Gasfilters voorkom toerusting stilstand in halfgeleierprosesse deur te verseker dat prosesgasse konsekwent vry is van

kontaminante wat skade aan die vervaardigingstoerusting kan veroorsaak. Halfgeleiervervaardiging behels die gebruik van hoogs

sensitiewe toerusting, insluitend afsettingskamers, plasma-etsmasjiene en fotolitografiestelsels.

As kontaminante soos stof, vog of reaktiewe onsuiwerhede hierdie masjiene binnedring, kan dit 'n reeks probleme veroorsaak,

van verstopte kleppe en spuitpunte tot beskadigde wafer-oppervlaktes of reaktor-interieure.

Deur gasfilters van hoë gehalte te gebruik, voorkom vervaardigers die bekendstelling van hierdie kontaminante, wat die waarskynlikheid van

onbeplande instandhouding en toerusting onklaarraking. Dit help met die handhawing van stabiele produksieskedules, tot die minimum

duur stilstand, en vermy die aansienlike uitgawes verbonde aan herstelwerk of vervangings.

Daarbenewens help goed onderhoude filters om die lewensduur van sleutelkomponente, soos vloeibeheerders, kleppe en reaktore, te verleng,

daardeur die algehele doeltreffendheid en winsgewendheid van die vervaardigingsproses te verbeter.

So nadat u 'n paar besonderhede oor halfgeleiergasfilters nagegaan het, as u nog vrae het.

Gereed om u halfgeleiervervaardigingsproses te optimaliseer met gasfiltrasie-oplossings van hoë gehalte?

Kontak HENGKO vandag vir kundige leiding en pasgemaakte oplossings om aan jou behoeftes te voldoen.

Nadat u 'n paar besonderhede inligting oor halfgeleiergasfilter nagegaan het, as u meer vrae het?

Gereed om u halfgeleiervervaardigingsproses te optimaliseer met gasfiltrasie-oplossings van hoë gehalte?

Kontak HENGKO vandag vir kundige leiding en pasgemaakte oplossings om aan jou behoeftes te voldoen.

E-pos ons byka@hengko.comvir meer inligting.

Ons span is hier om jou te help om jou produksiedoeltreffendheid en produkkwaliteit te verbeter.